Filtre modulaire respectueux de l'environnement pour un contrôle efficace de l'AMC et une réduction de l'impact carbone dans les usines de semi - conducteursSur la voie de l'intelligence, de nombreuses usines de semi - conducteurs ont commencé à découvrir la présence de micropolluants invisibles à l'œil nu dans l'environnement, qui sont en suspension dans l'air et causent d'énormes dommages aux produits, mais les méthodes de filtration traditionnelles telles que les filtres à air à particules à haute efficacité ou Les filtres à air à ultraparticules sont difficiles à éliminer efficacement. Des mécanismes de contrôle intelligents doivent donc être mis en place au sein de l’usine pour résoudre le problème de la pollution moléculaire de l’air (AMC).
Selon les experts techniques de Pratt & Whitney, avec le développement de processus de semi - conducteurs avancés, la poussière en suspension dans l'air peut être efficacement contrôlée par des méthodes de filtration traditionnelles. Cependant, d'autres Micropolluants Organiques ou inorganiques ont un impact beaucoup plus important sur le rendement du procédé que la poussière. En d'autres termes, la technologie de contrôle de la micropollution AMC haute performance est l'un des éléments clés du développement d'un processus avancé de 5 nanomètres par les principaux fabricants de semi - conducteurs.
AMC est principalement divisé en substances acides ma, substances salines MB, sub