Filtre modulaire respectueux de l'environnement pour un contrôle efficace de l'AMC et une réduction de l'impact carbone dans les usines de semi - conducteurs
Sur la voie de l'intelligence, de nombreuses usines de semi - conducteurs ont commencé à découvrir la présence de micropolluants invisibles à l'œil nu dans l'environnement, qui sont en suspension dans l'air et causent d'énormes dommages aux produits, mais les méthodes de filtration traditionnelles telles que les filtres à air à particules à haute efficacité ou Les filtres à air à ultraparticules sont difficiles à éliminer efficacement. Des mécanismes de contrôle intelligents doivent donc être mis en place au sein de l’usine pour résoudre le problème de la pollution moléculaire de l’air (AMC).
Selon les experts techniques de Pratt & Whitney, avec le développement de processus de semi - conducteurs avancés, la poussière en suspension dans l'air peut être efficacement contrôlée par des méthodes de filtration traditionnelles. Cependant, d'autres Micropolluants Organiques ou inorganiques ont un impact beaucoup plus important sur le rendement du procédé que la poussière. En d'autres termes, la technologie de contrôle de la micropollution AMC haute performance est l'un des éléments clés du développement d'un processus avancé de 5 nanomètres par les principaux fabricants de semi - conducteurs.
AMC est principalement divisé en substances acides ma, substances salines MB, substances condensantes MC et substances dopantes MD, et h ₂ Oh ₂、 Oh ₃ Et d'autres substances qui ne peuvent pas être classées. Ces polluants moléculaires gazeux, en termes de taille, ne nécessitent que 5 à 25 dépôts moléculaires pour remplir une largeur de ligne de 5 nanomètres et causer des dommages à la plaquette, le plus grand problème auquel l'industrie des semi - conducteurs est actuellement confrontée.
Pour résoudre ce problème, l'industrie des filtres chimiques a ajouté un filtre chimique Multi - effets, le module de filtre chimique traditionnel 3 en 1, à la base du dépoussiéreur traditionnel. Cependant, cela pose un problème majeur: pour assurer un haut niveau de performance, ils utilisent beaucoup de colle pu pour sceller le filtre à l'intérieur du cadre métallique. D'une part, l'adhésif pu lui - même est une source de pollution et, d'autre part, il ne peut pas être remplacé car le métal et le matériau filtrant sont collés ensemble, de sorte qu'il finit par devenir un déchet composite.
L'écran Eco - Combo développé par Ruizhi a un aspect très différent. Nous aimerions résumer ses nombreux avantages. Tout d'abord, il n'utilise pas du tout de caoutchouc pu, ce qui permet aux utilisateurs d'économiser 3 à 5% du coût. Deuxièmement, le cadre est conçu dans un type unique d'extraction ou d'empilage, permettant aux utilisateurs de remplacer simplement une seule couche de matériau filtrant sans avoir à retirer l'ensemble du filtre, le rendant relativement léger et sûr. Troisièmement, les cadres modulaires sont réutilisables et faciles à remplacer par rapport aux filtres chimiques traditionnels 3 - en - 1. Quatrièmement, la réutilisation des supports et des cadres filtrants réduit le coût d'achat de plus de 40% et la quantité de déchets de plus de 60%, ce qui réduit les coûts d'accumulation et d'élimination ultérieure des déchets. Cinquièmement, les filtres respectueux de l'environnement ne permettent que l'utilisation du média filtrant comme pièce de rechange et permettent la réutilisation du cadre, qui n'a pas besoin d'être réapprovisionné jusqu'à ce qu'il soit usé.
Avec les 3R (réduire, réutiliser et recycler) comme philosophie de base, Ruizhi vise à atteindre l'objectif de zéro déchet. Le monde est confronté à de graves problèmes environnementaux tels que le changement climatique, le réchauffement climatique et des climats extrêmes fréquents, de sorte que l’humanité ne doit pas se contenter d’une « économie de réutilisation» (qui produit encore des déchets), mais doit aller plus loin vers une « économie circulaire» visant à utiliser 100% des matières premières et des ressources et à ne plus produire de déchets. C'est la nouvelle pensée que les entreprises de filtration veulent apporter à l'industrie.
Outre le développement de filtres modulaires, Ruizhi a également activement promu un autre produit "filtre chimique intégré AMC", chargé d'acides, d'alcalis, de matériaux de décomposition par adsorption de covt dans des matériaux en tissu de carbone, pour faire un filtre chimique intégré AMC, qui peut éliminer efficacement les acides, les alcalis, les covt, l'ozone et d'autres polluants gazeux AMC en même temps. En outre, le produit est plus rentable, plus écologique et plus économe en énergie pour l'environnement.
